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ホームの中のガス雰囲気炉(ガス置換炉)

 
 
 
 
■仕  様  
   
●試 料 寸 法

:2インチ及び3インチ

のウェハーに対応

●炉       数 :4本
  [ID70φ×2本]
[ID90φ×2本]
●使用温度範囲 :常温〜1100℃
●昇  温  時 間 :常温〜1100℃迄約60分
●ヒーターゾーン

:3ゾーン式

  110φ×900mmL
●ガ ス の 種 類 :酸素、窒素、水素、アルゴン
価格 11,200,000円〜

※詳細な仕様については問い合わせください
       
■仕  様  
   
●試  料  寸  法 :4インチウェハー25枚
  1チャージ×2系統
●炉心管の寸法 :ID135φ×1400mmL×2式
●使用温度範囲 :常温〜1000℃位
●均熱帯の長さ :±5℃ 中央部 350mm
●ヒーターゾーン :180φ 250×350×250mmL
●電 源 容 量 :AC200V 5.5Kw
●ガ ス の 種 類

:酸素、窒素

価格 9,000,000円〜

※詳細な仕様については問い合わせください
   
■仕  様  
   
●試  料  寸  法 :50φ以内
●炉      数 :1本
  [内52φ×500mmL]
●使用温度範囲 :常温〜1100℃
●最高限界温度 :1150℃迄
●昇 温 時 間 :常温〜1100℃迄約30分
●ヒーター関係 :1ゾーン、カンタル線
●ガ ス の 種 類

:酸素、窒素、アルゴン

●電 源 容 量 :AC200V 12A
価格 1,800,000円〜

※詳細な仕様については問い合わせください
 
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